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让分析更智能
在如今的半导体行业，气体中的微量杂质也会对生产过程造成很大影响，如设备性能降低、生产延迟和收益损失等。APIX δQ和APIX Quattro气体分析仪，可对超高纯大宗气体中的痕量杂质进行连续监测，与其他技术相比，其拥有更高的准确度和更低的检出限。APIX δQ和APIX Quattro气体分析仪结合大气压电离质谱技术（API-MS），先进的仪器设计，以及专业的过程分析软件，为您提供更加智能的大宗气体品质控制监测方案，保障高效生产，避免经济损失。
优势：
- 稳定可靠的全自动在线监测系统
- 超高灵敏度，最低检出限能够达到10 ppt以下，满足最严格质量要求的气体分析
- 自动流路切换和校准
- 快速在线测量，对气体异常能够立即响应
- 工业标准通讯协议，便于工厂控制和集成
产品
APIX/APIMS δQ 和 APIX/APIMS Quattro 超高纯度 (UHP) 大宗气体分析仪
与传统的监测技术相比，能够同时监测一种大宗气体中多种杂质成分，性价比更高，检出限更低（甚至达到优于传统监测技术100倍）。
视频
更多资料和信息
使用APIX超高纯度气体分析仪的 5 大理由
产品规格：APIX δQ 和 APIX Quattro
应用文章：APIX δQ 和 APIX Quattro 过程质谱仪
GasWorks 过程质谱仪软件
Thermo Scientific GasWorks 过程质谱仪软件为 Prima PRO、Prima BT、Sentinel PRO 和 APIX 质谱仪提供了独一无二且功能强大的用户界面。即使不具备质谱仪操作经验，操作者也能够便捷地对过程分析仪进行设置、操作和维护。
软件包括丰富的功能和特色。不论是需要在生产过程异常时提供简单的报警指示，还是需要对过程理解和控制进行复杂的数据分析，Gasworks 软件都能提供有效的解决方案。
- 支持分析仪独立运行
- 无样品流路和分析方法设置数量限制
- 具有严谨的数学方程处理复杂混合物数据
- 具有到期密码和审核跟踪功能等多重安全保护
- 支持接入第三方分析数据
发现 GasWorks 过程分析软件的功能和特点，轻松地对过程质谱仪进行设置、操作和维护。
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