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Thermo Scientific iCAP TQ ICP-MS 具有更强的干扰去除能力,可更好地对各种极具挑战性的基质中的元素杂质进行检测。由于 iCAP TQ ICP-MS 占地面积小,加上具有简化的工作流程并支持自动化方法开发而特别易于使用,使其成为用于确保关键生产工艺一致性和提高半导体硅片加工产量而进行近线质量控制的理想检查工具。
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