flexProber 半导体系统

Thermo Scientific™ flexProber™ 是我们最新的一款基于 SEM 的纳米探测平台，可为工艺开发、设备设计调试以及故障分析提供电气和故障隔离能力。flexProber 的 Thermo Scientific™ SteadFast™ 纳米操作仪结合 Thermo Scientific™ LEEN™ 高分辨率扫描电子显微镜色谱柱和高级控制软件，可在关键水平级别的样品上精确、可重复并且稳定地置入探针测试。

flexProber 主要特点：

• 平台稳定性：快速、可重复的探针运动控制和低漂移率，实现稳定的电气测量。
• 集成系统操作：指导测量的工作流程和软件控制以及 SEM 设置，以实现高效操作。
• 设计用于纳米探测的 SEM 色谱柱：低着陆能量下具有高分辨率，视野 (FOV) 较大。