作为同类产品中较快、较可靠的仪器，Thermo Scientific™ Spectra 300 扫描/透射电子显微镜 (S/TEM) 为半导体材料和半导体失效分析的研究提供了前所未有的性能。凭借高亮度场发射枪 (X-FEG) 和易于使用的软件的独特组合，您现在可以掌握 7 nm 或更小节点设备等先进产品的使用。凭借产生快速 EDS 绘图（无任何空间分辨率的损失）、以及电子能量损失谱 (EELS) 和低 kV 分析的能力，它是适用于工业应用的理想高端 S/TEM 解决方案。

关键优势：

前所未有的性能

回答半导体设备先进生产中具有挑战性的问题，如 7 nm 或更小节点的制程。

高亮度 FEG

两个高亮度 FEG 选择；标准高亮度场发射电子枪 (X-FEG) 或可选高亮度冷场发射枪 (XCFEG)。X-FEG 用于获得较佳性能，而 XCFEG 设计则用于易于使用的性能（方便 STEM、EELS 和低 电压分析）。

易于使用

Spectra 300 S/TEM 兼备强大的软件和硬件，设计用于提升用户体验，从而确保高效分析和高生产率。