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Thermo Scientific™

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Thermo Scientific μPolisher 系统是一种独特的解决方案，适用于原位、较低能量的局部表面修饰，包括抛光和清洗块体样品。
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Thermo Scientific™ μPolisher 系统是一种独特的解决方案，适用于原位、较低能量的局部表面修饰，包括抛光和清洗散装样品。系统使用带可调节能量和各种离子电流的静态气体 Ar+ 离子束，以确保在各种应用中进行温和的表面抛光。

关键优势

  • 可支持大量新型未经探索的应用的独特解决方案
  • 使用静态离子束进行低能清洗 (20 - 500eV)，适用于大多数温和的表面抛光
  • 原位 SEM/DualBeam 解决方案，允许在清洁后实验，而无需破坏真空
  • 小光斑尺寸适用于精确的局部表面处理，无需重新沉积
  • 广泛的操作条件，适用于各种应用
  • 完全集成于本款显微镜的用户界面，操作简单直观

潜在应用

  • 低耗损清洗
  • 去除氧化层
  • 碳氢化合物表面清洁
  • 去除 Ga 污染
  • FIB 处理后损伤层减少
规格
Unit SizeEach