半导体纳米探测

技术行业的一个主要的持续挑战是半导体器件和晶体管特征尺寸的缩小。为了保持出色的可靠性、性能和良率，半导体故障分析技术必须不断改进，以应对这一挑战。因此，需要高端、先进的仪器来实现半导体故障定位并识别缺陷结构，由于高密度互连、晶片级堆栈和复杂的 3D 架构，这些缺陷结构有更多的隐藏位置。

纳米探测是一种先进的表征技术，旨在通过纳米探针找出可能对良率、可靠性和性能产生负面影响的电气缺陷。纳米探测还可提供电气故障的精确定位，这对于有效的透射电镜(TEM)故障分析工作流程是必要的。

Thermo Fisher Scientific 提供了一系列先进的半导体纳米探测和样品制备工具，可在多种先进器件上实现可靠且准确的电气故障隔离。Thermo Scientific nProber IV 系统是一个基于扫描电镜的高性能平台，用于晶体管和金属化故障的定位。Thermo Scientific Hyperion II 系统是一种高生产率的原子力轮廓分析纳米探测器，具有领先的晶体管探测性能，包括集成的导电原子力显微镜 (C-AFM) 功能。更多信息请参见以下产品页面。

半导体纳米探测工作流程示例

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