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由 Bioz 提供技术支持Thermo Scientific Scios 2 DualBeam 是一套超高分辨率的分析 聚焦离子束扫描电子显微镜 (FIB-SEM) 系统，可为包括磁性和非导电材料在内的各种样品提供出色的样品制备与 3D 表征性能 。Scios 2 DualBeam 通过创新的功能设计提高了通量、精度以及易用性，是满足科学家和工程师在学术、政府以及工业研究领域高级研究和分析需求的理想解决方案。
高质量亚表面和 3D 信息
通常需要进行亚表面或三维表征以更好地理解样品的结构和性质。Scios 2 DualBeam 及可选配的 Thermo Scientific Auto Slice & View 4 (AS&V4) 软件可提供高质量、全自动的多模式 3D 数据集采集，包括用于最大材料对比度的背散射电子 (BSE) 成像、用于组成信息的能量色散光谱 (EDS) 以及用于微观结构和晶体学信息的电子背散射衍射 (EBSD)。与 Thermo Scientific Avizo 软件组合使用后，Scios 2 DualBeam 可为纳米级的高分辨率、高级 3D 表征以及分析提供独特的工作流程解决方案。
以超高分辨率提供完整的样品信息
创新的 NICol 电子色谱柱为系统的高分辨率成像和检测能力提供了基础。它适用于多种工作条件，无论是在 30 keV 的 STEM 模式下（访问结构信息）还是以较低能量（获得无电荷的详细表面信息）运行，都可以提供出色的纳米级细节。Scios 2 DualBeam 具有独特的镜筒内 Thermo Scientific Trinity 检测系统，专用于同时采集角和能量选择二级电子 (SE) 以及 BSE 成像数据。不仅可以快速访问从上到下的详细纳米级信息，还可快速访问倾斜的样品或交叉切片的信息。可选配的透镜下检测器和电子束减速模式可以快速、便捷地同时采集所有信号，揭示材料表面或交叉切片中最小的特征。借助独特的、具有全自动对齐功能的 NICol 色谱柱，可获得快速、准确、可重现的结果。
快速、便捷地制备高质量 TEM 样品
科学家和工程师不断面临新的挑战、需要对越来越复杂的样品的更小特征进行高度局部表征。Scios 2 DualBeam 的最新技术创新与可选、易用和全面的 Thermo Scientific AutoTEM 4 软件以及赛默飞世尔科技的应用专业知识相结合后，可支持客户快速方便地制备用于多种材料的 自定义高分辨率 S/TEM 样品。为了获得高质量结果，需要使用低能量离子进行最终抛光，以尽可能减少对样品表面的损坏。Thermo Scientific Sidewinder HT 聚焦离子束 (FIB) 镜筒不仅能够在高电压下具有高分辨率成像和铣削能力，还具有良好的低电压性能，能够创建高质量的 TEM 薄片。
快速、便捷的制备
使用 Sidewinder HT 离子柱获得高质量、现场特定的 TEM 和原子探针样品。
超高分辨率成像
使用在最广泛的样品范围（包括磁性和非导电材料）内具有一流性能的 Thermo Scientific NICol 电子色谱柱。
最完整的样品信息
通过各种集成式色谱柱内和透镜下检测器获得清晰、精确和无电荷的对比度。
高质量、多模式亚表面和 3D 信息
使用可选配的 AS&V4 软件，通过精确靶向感兴趣区域来获得高质量、多模式亚表面和 3D 信息。
精确的样品导航
高度灵活的 110 mm 载物台和腔室内 Thermo Scientific Nav-Cam 摄像机允许根据具体应用需求进行定制。
无伪影成像和构成图案
具有专用模式，如 DCFI、漂移抑制和 Thermo Scientific SmartScan 模式。
优化您的解决方案
灵活的 DualBeam 配置，包括可选配的最高 500 Pa 腔室压力低真空模式，可满足具体的应用要求。
产品表格规范样式表
| 电子束分辨率 |
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| 电子束参数空间 |
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| 离子光学系统 |
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| 检测器 |
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| 载物台和样品 | 灵活的 5 轴电动平台：
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* 可选配，取决于配置
组合 BSE（蓝绿色）和 EDS（橙色）数据，使用 Scios DualBeam、AS&V4 及 Avizo 软件生成的钨-钼-铜样品 3D 重建。
1 kV 下使用 Scios 2 DualBeam 成像的氧化铝纳米微球。图像由赛默飞世尔科技的 Mark Darus 提供。
介绍 Thermo Scientific Scios 2 FIB-SEM。了解这款超高分辨率分析系统如何为包括磁性和非导电材料在内的最广泛样品提供出色的样品制备和 3D 表征性能。
网络讲座：适用于所有需求的先进 DualBeam 自动化
注册我们专有的网络讲座，以了解如何轻松使用基于 Python 的 AutoScript 4 API 将您的 DualBeam 仪器上的日常任务自动化。自动化还可以增加通量、可重现性、提高易用性、加快数据获取时间并提高效率。
组合 BSE（蓝绿色）和 EDS（橙色）数据，使用 Scios DualBeam、AS&V4 及 Avizo 软件生成的钨-钼-铜样品 3D 重建。
1 kV 下使用 Scios 2 DualBeam 成像的氧化铝纳米微球。图像由赛默飞世尔科技的 Mark Darus 提供。
采用电镜进行过程控制
现代工业需求高通量、质量卓越、通过稳健的工艺控制维持平衡。SEM扫描电镜和TEM透射电镜工具结合专用的自动化软件，为过程监控和改进提供了快速、多尺度的信息。
半导体器件的TEM样品制备
Thermo Scientific DualBeam 系统为半导体器件的原子尺度分析提供了准确的 TEM 样品制备。自动化和先进的机器学习技术可以在正确的位置生成高质量的样品，并且单位样品成本低。
半导体器件的TEM样品制备
Thermo Scientific DualBeam 系统为半导体器件的原子尺度分析提供了准确的 TEM 样品制备。自动化和先进的机器学习技术可以在正确的位置生成高质量的样品，并且单位样品成本低。
用于将应用程序 H3 更改为具有 em-h3-header 类 p 的样式表
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用于将 H2 样式更改为具有 em-h2-header 类 p 的样式表
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