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用于扫描/透射电子显微镜 (S/TEM) 分析的样品制备仍被认为是材料表征实验室中最关键但又具有挑战性和耗时的任务之一。用于制备 S/TEM 所需的超薄样品的传统方法非常耗时，通常需要经过大量培训的人员付出数小时甚至数天的努力。各种不同的材料以及现场的特定需求使这一过程更加复杂化。
赛默飞世尔科技在 DualBeam（FIB-SEM，聚焦离子束 - 扫描电子显微镜）技术的使用方法拥有 25 年以上的专业知识，可为您提供易用、稳固且可靠的、最前沿样品制备工具。这始于高度稳定的镜筒和高品质的源，甚至在低电压条件下也能保证优异的性能。使用低至 500 V 的能量对薄片进行最终抛光可极大地减少损坏，甚至可用于电子束敏感材料，而且可获得无与伦比的样品质量。对于无镓样品的制备，赛默飞世尔科技提供了多种等离子 FIB 产品组合，包括可在氙、氩、氧和氮等四种离子束间快速切换的 Thermo Scientific Helios Hydra DualBeam。
此外，使用 Thermo Scientific SmartAlign 技术时，用户无需对准电子镜筒，不仅能最大限度地减少维护，还能提高生产率。嵌入到用户界面的自动调节工具进一步提高了您获取高质量图像的能力，图像调节速度比标准手动对齐最多快 10 倍。
优质硬件也有一整套软件解决方案支持，可优化和简化样品的制备。Thermo Scientific AutoTEM 5 软件可实现全自动 原位 薄片制备和提取，即使初级用户也可以生产出高质量的样品。这极大地扩展了仪器的可用性，由于样品制备不再依赖于专家操作，样品制备量大大提升。此外，可实现全自动的无人值守通宵操作，最大程度地利用了系统时间，从而显著提高生产率。
使用 DualBeam 仪器进行 S/TEM 样品制备
在切块和切边后可于 AutoTEM 软件界面和 SEM 中均查看的原位提取样品的示例。侧面的大基准标记用于自动切块，而薄片上的较小基准标记将在稍后用于最终的自动稀释。
含使用 AutoTEM 软件完全无人值守制备的 5x6 阵列 S/TEM 薄片的铝样品。薄片已切边且 6 小时后可提取。
使用 DualBeam 利用多种材料制成的薄片。1) 铝合金、2) LED 显示屏、3) 铜氧化物超导体 Bi2212、4) SrTiO₃、5) 催化过滤器和 6) 聚苯乙烯。
由镓（左）、氙（中）和氩（右）制备的砷化镓 (GaAs) S/TEM 样品的比较。
Toward “Damage-Free” TEM specimen preparation by Focused Ion Beam without Gallium
Diminish the challenges associated with focused ion beam (FIB) sample preparation for high resolution transmission electron microscopy (HR-TEM). Dr. Chengge Jiao, Staff Scientist of Applications Development at Thermo Fisher Scientific, explains how to tailor processing conditions and select the right FIB ion species for certain groups of materials to achieve optimized results.
在切块和切边后可于 AutoTEM 软件界面和 SEM 中均查看的原位提取样品的示例。侧面的大基准标记用于自动切块，而薄片上的较小基准标记将在稍后用于最终的自动稀释。
含使用 AutoTEM 软件完全无人值守制备的 5x6 阵列 S/TEM 薄片的铝样品。薄片已切边且 6 小时后可提取。
使用 DualBeam 利用多种材料制成的薄片。1) 铝合金、2) LED 显示屏、3) 铜氧化物超导体 Bi2212、4) SrTiO₃、5) 催化过滤器和 6) 聚苯乙烯。
由镓（左）、氙（中）和氩（右）制备的砷化镓 (GaAs) S/TEM 样品的比较。
Toward “Damage-Free” TEM specimen preparation by Focused Ion Beam without Gallium
Diminish the challenges associated with focused ion beam (FIB) sample preparation for high resolution transmission electron microscopy (HR-TEM). Dr. Chengge Jiao, Staff Scientist of Applications Development at Thermo Fisher Scientific, explains how to tailor processing conditions and select the right FIB ion species for certain groups of materials to achieve optimized results.
采用电镜进行过程控制
现代工业需求高通量、质量卓越、通过稳健的工艺控制维持平衡。SEM扫描电镜和TEM透射电镜工具结合专用的自动化软件，为过程监控和改进提供了快速、多尺度的信息。
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